概览
XRD-OEM 是您生产工艺的变革者。这款 X 射线衍射仪可经受苛刻的研磨和切割条件，其行业标准接口可与任何加工系统无缝集成。XRD-OEM 提供硅锭、晶锭或板材的独立取向测量，能够在平面和圆周上进行测量，而光学 V 槽检测可确保在锯切或研磨流程之前进行精确的预对准。
特点和优点
紧凑且互联
XRD-OEM 可以毫不费力地与任何自动化或加工系统集成，实现精简、高效和连续的操作。紧凑的设计和标准工业接口可确保其轻松融入任何制造环境，并与现有仪器和系统完美结合。
强悍实力，应对您的流程需求
XRD-OEM 适应性强，可在任何需要的环境中使用，包括研磨和切割过程。即使在苛刻的生产条件下，它也能可靠、精确地工作。
快速精准
XRD-OEM 在最重要的地方提供自动化精度。实现晶体取向精确测定，可支持您高标准的质量控制，同时优化您的流程，以提高效率和整体质量。
XRD-OEM 可测定平面和圆周的晶体取向，应用范围更广。
光学 V 槽检测
光学 V 槽检测可精确识别和表征样品上的平槽和 V 槽特征，这在锯切或研磨流程之前对大硅锭进行预对准至关重要。
多种样品尺寸
XRD-OEM 可测定平面和圆周的晶体取向，应用范围更广。
主要应用
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- 生产和加工
- XRD-OEM 的设计充分考虑了您忙碌的生产环境。作为一种在线仪器，它可以集成到您的自动化高通量设置中，作为测量并处理硅锭、晶锭和板材的有效解决方案。其能够测量包括 Si、SiC、GaAs 等在内的一系列化合物半导体材料，并且采用空气冷却、结构紧凑，使其成为一款功能强大且成本效益高的工艺辅助工具。
- 锯切或研磨前的硅锭预对准
- 凭借其准确的预对准功能，XRD-OEM 可在进一步的加工步骤之前实现精确的定位和取向控制。
- 质量控制
- 快速取向测量在生产中至关重要，而 XRD-OEM 可快速提供高质量数据。XRD-OEM 能够无缝融入您的新流程或现有自动化流程，帮助您为未来的自动化制造做好准备。
规格
| V 槽位置 | 0.005° |
| V 槽深度 | 0.005 mm |
| 典型 V 槽轮廓角度 | < 0.5° |
| 直径 | 0.02 mm |
| 平槽位置 | < 0.03° |
| 平槽长度 | < 0.3 mm |
支持
支持服务
- 电话和远程支持
- 预防性维护和检查
- 灵活的客户服务协议
- 性能认证
- 硬件和软件升级
- 本地和全球支持
专业知识
- 元素和结构半导体计量的统包解决方案
- 自动化和咨询
- 培训和教育
