X'Pert³ is now a Smart Instrument!. Find out more

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X'Pert³ 系列X射线衍射仪

新型 X'Pert³ 系列

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X'Pert 平台在马尔文帕纳科 X 射线衍射系统的新型 X'Pert³ 系列中得以延用。 X'Pert³ 平台具有新型机载控制电子装置,符合X 射线和运动安全规范,且具有环保和可靠性能,已准备好迎接未来的挑战。

X'Pert³ MRD 系列新增功能具体包括:

• 全新高分辨率测角仪,它使用 Heidenhain 编码器,因而准确性更高且定位反馈时间更短

•无需使用工具即可快速将光管位置从点焦斑更改为线焦斑

• 得益于气动快门和光束衰减器,系统正常运行时间满足过程控制要求

• CRISP*(包括无铅光管塔)确保入射光路组件的寿命更长

• 第二代 PreFIX,确保实现更准确的光学器件定位

• 面向未来的单板计算机控制器,确保更好的连接性和更出色的远程支持


*CRISP 指的是耐腐蚀智能入射光路。CRISP 可防止入射光路中出现由 X 射线引起的电离空气造成的腐蚀。该技术使仪器运行更可靠,避免额外的维护工作。

X'Pert³ MRD

X'Pert³ MRD 系统提供从研究到工艺开发和工艺控制的先进和创新的 X 射线衍射解决方案。

Features include

  • 晶圆最大直径:100毫米
  • 证券交易委员会/创业板
  • 洁净室 ISO 4
X'Pert³ MRD

X'Pert³ MRD XL

额外的 PreFIX 安装平台允许串联安装 X 射线镜和高分辨率单色仪,从而显着增加入射光束的强度。

Features include

  • 晶圆最大直径:300毫米
  • 证券交易委员会/创业板
  • 洁净室 ISO 4
X'Pert³ MRD XL
X'Pert³ MRD

X'Pert³ MRD

新一代高分辨X射线衍射仪

X'Pert³ MRD XL

X'Pert³ MRD XL

新一代高分辨X射线衍射仪

技术类型
X 射线衍射 (XRD)
测量类型
物相鉴定
物相定量
薄膜测量
残余应力
界面粗糙度
外延附生分析
织构分析
倒易空间分析
Wafer max. diameter 100 mm 300 mm
SECS/GEM
Cleanroom ISO 4